Adquisición de un equipo avanzado de ensamblaje e integración de circuitos microelectrónicos y fotónicos de escala submicrométrica. Herramientas avanzadas de alineamiento y posicionamiento de chips fotónicos.
Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Suministro, instalación y puesta en marcha de un sistema ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching) para el ataque seco por plasma de diversos materiales destinado al Instituto de Micro y Nanotecnología de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas.
Presidencia de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas, M.P.
Id licitación: LOT39/25; Órgano de Contratación: Presidencia de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas, M.P.; Importe: 745000 EUR; Estado: RES